超高纯氧气名为高纯氧/超纯氧/氧气,摩尔质量:32 g/mol。其物理性质为常温下无色无嗅无味;熔点-218℃(标准状况)<-218℃蓝色雪花状的固体;沸点-183℃(标准状况)<-183℃蓝色液体 >-183℃ 无色无嗅无味;密度1.429g/l超纯氧气可以应用到二氧化硅的化学气相沉积;也可以作为氧化源与产生高纯水的反应剂;还可以与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于
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氧气纯度:纯氧、高纯氧、超纯氧(GB/T14599-2008)项目名称指标国内医用氧国际医用氧高纯氧氧气(O2)的体积分数/10 ≥99.2%99.5%99.7%氢气(H2)的体积分数/10 ≤0.10.51氩(Ar)的体积分数/10 ≤0.2210氮(N2)的体积分数/10 ≤0.1520总烃含量(以甲烷计)/10 ≤0.10.52二氧化碳含量/10 ≤0.10.51水分/10 ≤0.523注:
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高纯氧是一种无色无臭无味气体,分子式是O2。英文名:high purity oxygen分子式:O2纯度≥99.995%。尘埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L,杂质含量N2≤10 cm3/m3,Ar≤5cm3/m3,H2O≤lcm3/m3,CO2≤0.5cm3/m3。无色无臭无味气体。氧不可燃,但助燃。相对密度ds(21.1℃,空气=1)1.105。气体密度1.326kg/m3(21.1℃,101
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