氧气纯度：
纯氧、高纯氧、超纯氧（GB/T14599-2008) | |||
项目名称 | 指标 | ||
国内医用氧 | 国际医用氧 | 高纯氧 | |
氧气（O2)的体积分数/10 ≥ | 99.2% | 99.5% | 99.7% |
氢气（H2)的体积分数/10 ≤ | 0.1 | 0.5 | 1 |
氩（Ar）的体积分数/10 ≤ | 0.2 | 2 | 10 |
氮（N2)的体积分数/10 ≤ | 0.1 | 5 | 20 |
总烃含量（以甲烷计）/10 ≤ | 0.1 | 0.5 | 2 |
二氧化碳含量/10 ≤ | 0.1 | 0.5 | 1 |
水分/10 ≤ | 0.5 | 2 | 3 |
注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。 | |||
高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；
作为氧化源与产生高纯水的反应剂；
干法氧化；
与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。
氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。
还可用于水质处理。
所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧，例如炼钢时除硫、磷等杂质，氧和乙炔混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。
玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。
液氧还用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。
