高纯氧有哪些用途？

     何为高纯氧呢，纯度要在99.999%以上其他的杂质要极低的氧气才能称为高纯氧，高纯氧的分子式是：O2，大部分商品氧都是由空气分离制造的。即将空气液化后经精馏提纯。也可采用低温全精馏法。少量氧采用电解氧为原料，经催化脱氢可制取纯度为99.99％以上的高纯氧。其他纯化方法有变压吸附法和膜分离法。

     高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。

     氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。