首选我们先了解一下什么是高纯氧？高纯氧是一种无色无臭无味气体，分子式是O2。大部分都是由空气分离制造的，即将空气液化后经精馏提纯。也可采用低温全精馏法。少量氧采用电解氧为原料，经催化脱氢可制取纯度为99.99%以上的高纯氧。其他纯化方法有变压吸附法和膜分离法。 高纯氧可用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维
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使用高纯氧气时应注意安全，做好防震、防火、防热、防油等工作。高纯氧气能助燃，应放在阴凉处，严禁接近烟火和易燃物；不可在氧气表螺旋口上抹油；高纯氧气钢瓶压力很高，搬运时避免倾倒、撞击，以防止爆炸。1）使用前要仔细观看气瓶肩部球面部分的标志。特别是注意“下次试压时间“。并在使用过程中按照要求定期对气瓶作技术检验。不得使用超过应检期限的气瓶。2）使用时，首先要做外部检查，检查重点是瓶阀、按管螺纹、减压器
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高纯氧是一种无色无臭无味气体，分子式是O2。英文名：high purity oxygen分子式：O2纯度≥99.995%。尘埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，杂质含量N2≤10 cm3/m3，Ar≤5cm3/m3，H2O≤lcm3/m3，CO2≤0.5cm3/m3。无色无臭无味气体。氧不可燃，但助燃。相对密度ds(21.1℃，空气=1)1.105。气体密度1.326kg/m3(21.1℃，101
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